设备名称：纳米超硬涂层设备
设备型号：GDM1000
真空腔室尺寸：Φ1000mm×H1200mm
真空系统：国产 / 进口分子泵 + 罗茨泵 + 机械泵高真空系统
极限真空：优于 8.0×10-5Pa
抽速：从大气到 5.0×10-3Pa ≤ 25min 升压率关机 12 小时后真空度≤ 10Pa
工件架尺寸：8 ～ 12 工位，3 轴联动工件架二套；配专用工件车
工件烘烤温度：室温～ 500℃，可调可控（PID 控温）
配置：新型弧源 6-12 只可选、离子源、偏压
系统：全自动控制系统，个性化的 Tech-Coating 控制菜单，安全保护系统
占地面积：L4000mm×W3000mm

该设备可制备TiN\CrN\AlCrN\ZrN\TiC\TiCN\TiAlN\TiAlCN\DLC膜等，非常适合生产企业大批量在刀具（钻头、铣刀、拉刀、丝锥、滚齿刀、车刀、刀粒等）、高精工模具（冲压模具、剪切模具、成型模具、注塑模具等）及其他关键部件上镀制单层/多层硬质涂层、耐腐蚀涂层等功能薄膜。

设备采用全自动的控制方式，先进的工艺流程控制模式，性能稳定可靠，操作简单方便。并集成先进的新型弧源镀膜技术和离子辅助前处理镀膜技术，可镀高质量、成膜致密、结合力好、硬度高的硬质涂层，大幅度提高工具及刀具使用寿命。该设备集成国际**技术，性能国内**。