电子束蒸发（Electron Beam Evaporation）是物理气相沉积的一种形式，其中待蒸发材料被来自带电钨丝的电子束轰击，当电子束撞击目标材料时，它的能量转化为热能，使目标材料达到蒸发的状态，并将其转化为气态，在高真空室中，这些蒸发的原子或分子随后沉积在基板上形成薄膜。

电子束蒸发真空镀膜设备常见蒸镀蒸镀AR / AF涂层，硬质膜、装饰膜、ITO膜 、带通滤光片、HR膜等，具有效率高，它还具有用于航空航天工业的耐磨和热障涂层、切削和工具工业的硬涂层的潜在工业应用。生产能力更强，生产成本更低等优势，镀制AR膜（基材玻璃透过率＞91.5%），420-680nm波段，单面平均透过率＞95%，反射率小于0.5（平均值）%。双面平均透过率＞98%，反射率小于0.5（平均值）%。市面应用广泛。

电子束蒸发可以蒸发高熔点材料，比一般电阻加热蒸发热效率高、 束流密度大、蒸发速度快，制成的薄膜纯度高、质量好，厚度可以较准确地控制，可以广泛应用于制备高纯薄膜和导电玻璃等各种光学材料薄膜。

在功能方面，电子束镀膜技术具有以下特点：

1.高精度镀膜：能够实现对薄膜厚度和成分的精确控制，从而制备出具有特定性能的薄膜。

2. 可调节性强：可以方便地调节薄膜的物理、化学性质，以满足不同应用的需求。

3. 高质量薄膜：所制备的薄膜具有良好的均匀性、致密性和稳定性。

4. 适用范围广：适用于多种材料的镀膜，包括金属、半导体、氧化物等。

电子束蒸发技术原理

依靠电子束轰击蒸发的真空蒸镀技术，根据电子束蒸发源的形式不同，又可分为环形枪，直枪，e型枪和空心阴极电子枪等几种。

环形枪：是由环形的阴极来发射电子束，经聚焦和偏转后打在坩锅内使金属材料蒸发。它的结构较简单，但是功率和效率都不高，基本上只是一种实验室用的设备，目前在生产型的装置中已经不再使用。

直枪：一种轴对称的直线加速枪，电子从灯丝阴极发射，聚成细束，经阳极加速后打在坩锅中使镀膜材料融化和蒸发。

E型枪：即270摄氏度偏转的电子枪克服了直枪的缺点，是目前用的较多的电子束蒸发源之一。

空心阴极电子枪：利用低电压，大电流的空心阴极放电产生的等离子电子束作为加热源。空心阴极电子枪用空心的钽管作为阴极，坩锅作为阳极，钽管附近装有辅助阳极。利用空心阴极电子枪蒸镀时，产生的蒸发离子能量高，离化率也高，因此，成膜质量好。

1. 电子束产生：通过电子枪产生高速电子束。

2. 加速与聚焦：对电子束进行加速和聚焦，使其具有足够的能量。

3. 靶材轰击：电子束轰击靶材，使靶材原子或分子溅射出来。

4. 薄膜沉积：溅射出来的原子或分子在基片上沉积，形成薄膜。

5.控制参数：通过控制电子束的能量、密度、轰击时间等参数，实现对薄膜厚度、成分和结构的控制。

电子束蒸发优点：

（1）电子束轰击热源的束流密度高，能获得远比电阻加热源更大的能量密度。可以将高达3000度以上的材料蒸发，并且能有较高的蒸发速度；

（2）由于被蒸发的材料是置于水冷坩锅内，因而可避免容器材料的蒸发，以及容器材料与蒸镀材料之间的反应，这对提高镀膜的纯度极为重要；

（3）热量可直接加到蒸镀材料的表面，因而热效率高，热传导和热辐射的损失少。

电子束镀膜材料选择

电子束镀膜材料的选择取决于应用需求和工艺条件。在光学领域，常用的材料包括金、银、铜等金属，以及二氧化硅、氮化硅等非金属化合物。在电子器件领域，则需考虑材料的导电性、绝缘性和稳定性等。

作为制备与加工难熔金属的核心技术之一，电子束技术已在高温合金的成型制造与精炼、高温合金的焊接、表面改性以及涂层制备等领域得到了广泛应用：

1. 光学领域：如光学镀膜，提高光学器件的性能。

2. 电子器件：用于制造半导体器件、集成电路等。

3. 磁性材料：制备磁性薄膜，应用于磁记录等领域。

4. 装饰镀膜：为饰品、工艺品等提供高质量的镀膜。

5. 刀具镀膜：提高刀具的硬度、耐磨性和耐腐蚀性。

6. 能源领域：在太阳能电池、燃料电池等领域发挥重要作用。

7. 生物医学：例如镀膜用于医疗器械，提升其性能。

8. 航空航天、国防军工以及核工业等各个领域中。

此外，随着对高温合金使用性能要求的不断提高以及新型高温合金的开发，电子束技术在高温合金中的应用也面临着新的挑战。